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メソポアおよび高次構造制御による超高感度半導体ガスセンサの設計

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メソポアおよび高次構造制御による超高感度半導体ガスセンサの設計

国立国会図書館請求記号
Y151-H13450354
国立国会図書館書誌ID
000007087662
資料種別
図書
著者
山添, 昇, 九州大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
メソポア オヨビ コウジ コウゾウ セイギョ ニ ヨル チョウコウカンド ハンドウタイ ガスセンサ ノ セッケイ
著者・編者
山添, 昇, 九州大学
著者標目
山添, 昇 ヤマゾエ, ノボル
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
半導体ガスセンサ ハンドウタイガスセンサ
メソポア メソポア
マクロポア マクロポア
一次粒子径 1ジリユウシケイ
二次粒子径 ニジリユウシケイ
拡散方程式 カクサンホウテイシキ
高次構造 コウジコウゾウ
酸化スズ サンカスズ