モアレ干渉法による先端電子デバイスの熱変形解析

• 資料種別: 図書
• タイトル: モアレ干渉法による先端電子デバイスの熱変形解析
• タイトルよみ: モアレ カンショウホウ ニ ヨル センタン デンシ デバイス ノ ネツ ヘンケイ カイセキ
• 著者・編者: 新川, 和夫, 九州大学
• 著者標目: 新川, 和夫 アラカワ, カズオ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 先端電子デバイス センタンデンシデバイス; フリツプチツプ フリツプチツプ; 熱変形解析 ネツヘンケイカイセキ; モアレ干渉法 モアレカンシヨウホウ; 信頼性評価 シンライセイヒヨウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650091
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650091
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089108; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089108
• 整理区分コード: 214