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結晶格子とレ-ザ干渉計を複合したメ-トル定義に直結した小型絶対測長器の開発

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結晶格子とレ-ザ干渉計を複合したメ-トル定義に直結した小型絶対測長器の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650114
国立国会図書館書誌ID
000007089123
資料種別
図書
著者
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ケッショウ ゴウシ ト レ-ザ カンショウケイ オ フクゴウ シタ メ-トル テイギ ニ チョッケツ シタ コガタ ゼッタイソクチョウキ ノ カイハツ
著者・編者
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
著者標目
明田川, 正人 アケタガワ, マサト
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
サブナノメ-トル精度 サブナノメ-トルセイド
結晶格子 ケツシヨウコウシ
レ-ザ干渉計 レ-ザカンシヨウケイ
トレ-サビリテイ トレ-サビリテイ
走査型トンネル顕微鏡 (STM) ソウサガタトンネルケンビキヨウ (STM)
原子間力顕微鏡 (AFM) ゲンシカンリヨクケンビキヨウ (AFM)