半導体集積回路と一体化可能な圧電境界波デバイス

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体集積回路と一体化可能な圧電境界波デバイス
• タイトルよみ: ハンドウタイ シュウセキ カイロ ト イッタイカ カノウ ナ アツデン キョウカイハ デバイス
• 著者・編者: 山口, 正恆, 千葉大学
• 著者標目: 山口, 正恆 ヤマグチ, マサツネ
• 出版年月日等: 2001-2002
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 弾性表面波 ダンセイヒヨウメンハ; 境界波 キヨウカイハ; 圧電材料 アツデンザイリヨウ; 集積化 シユウセキカ; パツケ-ジ パツケ-ジ; LiNbO_3 LINBO_3; 電子ビ-ム露光 デンシビ-ムロコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650371
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650371
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007089308; http://id.ndl.go.jp/bib/000007089308
• 整理区分コード: 214