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半導体集積回路と一体化可能な圧電境界波デバイス

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半導体集積回路と一体化可能な圧電境界波デバイス

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650371
国立国会図書館書誌ID
000007089308
資料種別
図書
著者
山口, 正恆, 千葉大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
半導体集積回路と一体化可能な圧電境界波デバイス
タイトルよみ
ハンドウタイ シュウセキ カイロ ト イッタイカ カノウ ナ アツデン キョウカイハ デバイス
著者・編者
山口, 正恆, 千葉大学
著者標目
山口, 正恆 ヤマグチ, マサツネ
出版年月日等
2001-2002
出版年（W3CDTF）
2001
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
弾性表面波 ダンセイヒヨウメンハ
境界波 キヨウカイハ
圧電材料 アツデンザイリヨウ
集積化 シユウセキカ
パツケ-ジ パツケ-ジ
LiNbO_3 LINBO_3
電子ビ-ム露光 デンシビ-ムロコウ