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反射高速電子回折・電子分光法による窒化チタン薄膜の高機能化に関する研究

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反射高速電子回折・電子分光法による窒化チタン薄膜の高機能化に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650730
国立国会図書館書誌ID
000007089514
資料種別
図書
著者
粕壁, 善隆, 東北大学
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンシャ コウソク デンシ カイセツ ・ デンシ ブンコウホウ ニ ヨル チッカ チタン ハクマク ノ タカバタ ノウゲ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
粕壁, 善隆, 東北大学
著者標目
粕壁, 善隆 カスカベ, ヨシタカ
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
窒素イオン注入 チツソイオンチユウニユウ
窒化チタン チツカチタン
hcp-fcc構造変態 HCP-FCCコウゾウヘンタイ
反射高速電子回折法 ハンシヤコウソクデンシカイセツホウ
オ-ジエ電子分光法 オ-ジエデンシブンコウホウ
透過電子顕微鏡法 トウカデンシケンビキヨウホウ
電子エネルギ-損失分光法 デンシエネルギ-ソンシツブンコウホウ
分子軌道法 ブンシキドウホウ