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熱拡散法によるCMOSデバイスの試作

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熱拡散法によるCMOSデバイスの試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H13680216
国立国会図書館書誌ID
000007091490
資料種別
図書
著者
中村, 俊三郎, 有明工業高等専門学校
出版者
-
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ネツ カクサンホウ ニ ヨル CMOS デバイス ノ シサク
著者・編者
中村, 俊三郎, 有明工業高等専門学校
著者標目
中村, 俊三郎 ナカムラ, シユンザブロウ
出版年月日等
2001-2002
出版年(W3CDTF)
2001
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
学校教育 ガツコウキヨウイク
MOS集積回路 MOSシユウセキカイロ
CMOSプロセス CMOSプロセス