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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- He ガス オ モチイタ rf マグネトロン スパッタ ニ ヨル Biケイ チョウデンドウ ハクマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 松本浩介 [著]
- 著者標目
- 松本, 浩介 マツモト, コウスケ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2003
- 出版年（W3CDTF）
- 2003
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 鳥取大学
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