イオンビームスパッタリング法を用いたナノ構造含有薄膜の作製とその機能的性質に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: イオンビームスパッタリング法を用いたナノ構造含有薄膜の作製とその機能的性質に関する研究
• タイトルよみ: イオン ビーム スパッタリングホウ オ モチイタ ナノ コウゾウ ガンユウ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ キノウテキ セイシツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 一戸隆久 [著]
• 著者標目: 一戸, 隆久 イチノヘ, タカヒサ
• 出版事項: [一戸隆久]
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 電気通信大学
• 授与年月日: 平成16年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 甲第320号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-F698
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007440947; http://id.ndl.go.jp/bib/000007440947
• 整理区分コード: 213