Metrology, inspection, and process control for microlithography 18 : 23-26 February 2004 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2004, Santa Clara, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN（セット）: 0819452882 (set)
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Metrology, inspection, and process control for microlithography 18 : 23-26 February 2004 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2004, Santa Clara, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 5375
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering. v. 5375.
• 著者標目: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI); Silver, Richard M.; International SEMATECH.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2004.
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 2 parts : ill. ; 28 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Inspection -- Congresses.; Integrated circuits -- Measurement -- Congresses.; Microlithography -- Congresses.; Process control. -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-04-2915
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007447815; http://id.ndl.go.jp/bib/000007447815
• RLIN番号: MOHG55897437-B
• 整理区分コード: 215