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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- テイエネルギー イオン ショウゲキ ニ ヨル カク ユウゴウ ソウチ ダイイチヘキ コウホ ザイリョウ ノ スパッタリング ト スイソ サイホウシュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 山田禮司 [著]
- 著者標目
- 山田, 禮司 ヤマダ, レイジ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 昭和58年5月11日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1983
- 報告番号
- 乙第3546号