A study of plasma-surface interactions in plasma etching with chlorine- and bromine-based chemistries

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: A study of plasma-surface interactions in plasma etching with chlorine- and bromine-based chemistries
• 著者・編者: Mutumi Tuda [著]
• 著者標目: 津田, 睦 ツダ, ムツミ
• 出版事項: [Mutumi Tuda]
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 塩素および臭素系プラズマエッチングにおけるプラズマと表面との相互作用に関する研究 エンソ オヨビ シュウソケイ プラズマ エッチング ニ オケル プラズマ ト ヒョウメン トノ ソウゴ サヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成16年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 乙第11447号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-G942
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007480262; http://id.ndl.go.jp/bib/000007480262
• 整理区分コード: 213