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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンノウセイ スパッタリングホウ ニ ヨル Mn - Nケイ ハクマク ノ ジセイ ト デンキ デンドウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 森尾和正 [著]
- 著者標目
- 森尾, 和正 モリオ, カズマサ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2004]
- 出版年（W3CDTF）
- 2004
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東海大学
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