Studies on low-energy, mass-separated ion beam deposition and reactive ion beam etching

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on low-energy, mass-separated ion beam deposition and reactive ion beam etching
• 著者・編者: 三宅潔 [著]
• 著者標目: 三宅, 潔 ミヤケ, キヨシ
• 数量: 冊
• 並列タイトル等: 質量分離された低エネルギーイオンビームによる薄膜形成およびエッチング機構に関する研究 シツリョウ ブンリサレタ テイエネルギー イオン ビーム ニ ヨル ハクマク ケイセイ オヨビ エッチング キコウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 昭和57年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1982
• 報告番号: 乙第4675号
• 学位: 工学博士
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-57-E621
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007500796; http://id.ndl.go.jp/bib/000007500796
• 整理区分コード: 213