誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究
• タイトルよみ: ユウドウ ケツゴウ フロロカーボン プラズマ ノ トクセイ ノ リロンテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 南部健一, 東北大学 [著]
• 著者標目: 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [南部健一]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.5
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 39p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: プロセスプラズマ / 数値解析 / 粒子モデル / 誘導結合プラズマ プロセスプラズマ / スウチ カイセキ / リュウシ モデル / ユウドウ ケツゴウ プラズマ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350088
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350088
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007534770; http://id.ndl.go.jp/bib/000007534770
• 整理区分コード: 214