炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

• 資料種別: 図書
• タイトル: 炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ
• タイトルよみ: タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニ ヨル アプローチ
• 著者・編者: 成島尚之, 東北大学 [著]
• 著者標目: 成島, 尚之 ナルシマ, タカユキ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [成島尚之]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.5
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 183枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 炭化ケイ素 / ネガティブクリスタル / 高温酸化 / 表面自由エネルギー / オゾンガス / 異方性 / プロセス変形 / 速度論 タンカ ケイソ / ネガティブクリスタル / コウオン サンカ / ヒョウメン ジユウ エネルギー / オゾンガス / イカタセイ / プロセス ヘンケイ / ソクドロン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550696
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550696
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007534803; http://id.ndl.go.jp/bib/000007534803
• 整理区分コード: 214