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熱CVD法による鉄膜の析出速度と結晶粒構造に及ぼす強磁場勾配印加効果

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熱CVD法による鉄膜の析出速度と結晶粒構造に及ぼす強磁場勾配印加効果

国立国会図書館請求記号
Y151-H14550680
国立国会図書館書誌ID
000007534826
資料種別
図書
著者
吉川昇, 東北大学 [著]
出版者
[吉川昇]
出版年
2002-2003
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
54枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
熱CVD法による鉄膜の析出速度と結晶粒構造に及ぼす強磁場勾配印加効果
タイトルよみ
ネツ CVDホウ ニ ヨル テツマク ノ セキシュツ ソクド ト ケッショウリュウ コウゾウ ニ オヨボス キョウジバ コウバイ インカ コウカ
著者・編者
吉川昇, 東北大学 [著]
著者標目
著者 ： 吉川, 昇 ヨシカワ, ノボル ( 001174786 )典拠
東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
出版事項
[吉川昇]
出版年月日等
2002-2003
2004.3
出版年（W3CDTF）
2002
2003
数量
54枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)