イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

• 資料種別: 図書
• ISBN: 4-526-05380-5
• タイトル: イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
• タイトルよみ: イオン コウガク ハンドブック : ナノテクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロマシン トウ
• 著者・編者: 水野博之 監修; 平尾孝 [ほか]編
• 著者標目: 水野, 博之, 1929-2014 ミズノ, ヒロユキ, 1929-2014 ( 00103967 )典拠; 平尾, 孝, 1940- ヒラオ, タカシ, 1940- ( 00215636 )典拠
• 出版事項: 枚方 : イオン工学研究所; 東京 : 日刊工業新聞社 (発売)
• 出版年月日等: 2004.10
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1126p
• 大きさ: 27cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: イオン イオン ( 00616786 )典拠; イオンビーム イオンビーム ( 00576754 )典拠
• NDC9版: 549.1 : 電子工学
• NDLC: ND2; ND351
• NDC（参考図書紹介）: 549.1
• 紹介文（参考図書紹介）: 情報、エネルギー、環境等のテクノロジーを支える材料・デバイス技術において重要な役割を担うイオン工学技術について、技術体系を総合的にまとめたハンドブック。大学、独立行政法人、企業から研究者147名が執筆。プラズマやイオンビームといった基礎技術を解説した後、「イオン注入技術」、「薄膜形成技術」、「加工技術」、「表面改質技術」、「評価技術」の各技術を解説。後半では、「デバイス応用材料技術」の章で、液晶やPDPといったディスプレイ材料、HDDなどの記録材料、太陽電池や燃料電池といったエネルギー材料等への応用例を挙げ、「産業別応用事例」の章で、自動車、電機、機械、建設、エネルギー、環境、バイオ、医療などの各分野への応用例を挙げている。各項目ごとに参考・引用文献のリストを掲載し、巻末に五十音順の索引がある。
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 68000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND2-H30
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007535716; http://id.ndl.go.jp/bib/000007535716
• 全国書誌番号: 20696733
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

第1章 序論/ 1

第2章 基礎技術/ 7

2.1 気体と真空/ 8

2.1.1 気体の圧力と速度/ 8