Advances in chemical-mechanical polishing : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. : symposium K, "advances in chemical-mechanical polishing" : CMP symposium : 2004 MRS spring meeting : Apr 2004, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1558997660
• タイトル: Advances in chemical-mechanical polishing : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. : symposium K, "advances in chemical-mechanical polishing" : CMP symposium : 2004 MRS spring meeting : Apr 2004, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 816
• タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 816.
• 著者標目: Boning, Duane S.; Materials Research Society. Meeting (2004 : San Francisco, Calif.); Symposium on Advances in Chemical-Mechanical Polishing (2004 : San Francisco, Calif.)
• 出版事項: Warrendale : Materials Research Society
• 出版年月日等: c2004.
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: xi, 292 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Electrolytic polishing -- Congresses.; Grinding and polishing -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-04-3635
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007567427; http://id.ndl.go.jp/bib/000007567427
• RLIN番号: PASGA2774200-B
• 整理区分コード: 215