超高密度情報記憶におけるナノメカトロニクスの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超高密度情報記憶におけるナノメカトロニクスの開発
• タイトルよみ: チョウコウミツド ジョウホウ キオク ニ オケル ナノメカトロニクス ノ カイハツ
• 著者・編者: 多川則男, 関西大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 多川, 則男 タガワ, ノリオ ( 001357994 )典拠; 関西大学 カンサイ ダイガク ( 00286325 )典拠
• 出版事項: [多川則男]
• 出版年月日等: 2000-2002; 2004.3
• 出版年（W3CDTF）: 2000; 2002
• 数量: 207p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 超高密度情報記憶 / マイクロマシン / ナノメカトロニクス / 複合多層PZT薄膜 / アクティブスライダ / ICP-RIEディープエッチング / ナノトライボロジー / 超薄膜液体潤滑膜 チョウコウミツド ジョウホウ キオク / マイクロマシン / ナノメカトロニクス / フクゴウ タソウ PZT ハクマク / アクティブスライダ / ICP-RIE ディープエッチング / ナノトライボロジー / チョウハクマク エキタイ ジュンカツマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12450105
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12450105
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007592456; http://id.ndl.go.jp/bib/000007592456
• 整理区分コード: 214