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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スパッタリング ニ ヨル タイマモウ アツマク ノ コウグ エノ コーティング ト ソノ マク ノ ショトクセイ ノ ヒョウカ
- 著者・編者
- 李木経孝 [著]
- 著者標目
- 李木, 経孝 スモモギ, ツネタカ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 広島大学
- 授与年月日
- 昭和56年3月12日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1981
- 報告番号
- 乙第885号
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