単電子デバイス用ナノスケールシリコン量子細線の機械的特性評価技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 単電子デバイス用ナノスケールシリコン量子細線の機械的特性評価技術の開発
• タイトルよみ: タンデンシ デバイスヨウ ナノスケール シリコン リョウシ サイセン ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 磯野吉正, 立命館大学 [著]
• 著者標目: 磯野, 吉正 イソノ, ヨシタダ ( 001209357 )典拠; 立命館大学 リツメイカン ダイガク ( 00267202 )典拠
• 出版事項: [磯野吉正]
• 出版年月日等: 2001-2003; 2004.5
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2003
• 数量: 114p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: シリコン量子細線 / 引張り試験 / 静電アクチュエータ / 走査型プローブナノリソグラフィ シリコンリョウ シサイセン / ヒッパリ シケン / セイデンアクチュエータ / ソウサガタ プローブナノリソグラフィ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13555030
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13555030
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007598657; http://id.ndl.go.jp/bib/000007598657
• 整理区分コード: 214