A study of backside damage gettering in silicon wafer by using a cavitating jet

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: A study of backside damage gettering in silicon wafer by using a cavitating jet
• 著者・編者: 熊野弘之 [著]
• 著者標目: 熊野, 弘之 クマノ, ヒロユキ
• 出版事項: [熊野弘之]
• 出版年月日等: [2004]
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: キャビテーション噴流によるシリコンウェーハのバックサイドダメージゲッタリングに関する研究 キャビテーション フンリュウ ニ ヨル シリコン ウェーハ ノ バックサイド ダメージ ゲッタリング ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成16年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 甲第9616号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-P581
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007613469; http://id.ndl.go.jp/bib/000007613469
• 整理区分コード: 213