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博士論文
高解像・高精度電子ビームナノリソグラフィの研究
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高解像・高精度電子ビームナノリソグラフィの研究
国立国会図書館請求記号
UT51-2004-P895
国立国会図書館書誌ID
000007614280
資料種別
博士論文
著者
山崎謙治 [著]
出版者
[山崎謙治]
出版年
2003
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (理学)
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資料に関する注記
一般注記:
博士論文
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
博士論文
タイトル
高解像・高精度電子ビームナノリソグラフィの研究
タイトルよみ
コウカイゾウ コウセイド デンシ ビーム ナノリソグラフィ ノ ケンキュウ
著者・編者
山崎謙治 [著]
著者標目
山崎, 謙治
ヤマザキ, ケンジ
出版事項
[山崎謙治]
出版年月日等
2003
出版年(W3CDTF)
2003
数量
1冊
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成16年3月3日
授与年月日(W3CDTF)
2004
報告番号
乙第8451号
学位
博士 (理学)
学位論文注記
博士論文
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
NDLC
UT51
一般注記
博士論文
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
UT51-2004-P895
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007614280
http://id.ndl.go.jp/bib/000007614280
整理区分コード
213
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