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レジスト材料 (高分子先端材料one point ; 10)

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レジスト材料

(高分子先端材料one point ; 10)

国立国会図書館請求記号
ND386-H108
国立国会図書館書誌ID
000007642467
資料種別
図書
著者
伊藤洋 著
出版者
共立出版
出版年
2005.2
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
104p ; 19cm
NDC
549.7
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資料詳細

要約等：

レジスト材料の歴史・現在・未来を平易に解説（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

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目次

  • 第1章　リソグラフィ技術による微細加工とレジスト

  • 1.1　レジストとは何か？

  • 1.2　レジストの分類

  • 1.3　レジストに要求される性能と特性評価法

  • 第2章　レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史

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紙

資料種別
図書
ISBN
4-320-04372-3
タイトル
レジスト材料
タイトルよみ
レジスト ザイリョウ
著者・編者
伊藤洋 著
シリーズタイトル
高分子先端材料one point ; 10
シリーズ著者・編者
高分子学会 編
著者標目
伊藤, 洋 イトウ, ヒロシ ( 00984897 )典拠
高分子学会 コウブンシ ガッカイ ( 00273047 )典拠
出版事項
東京 : 共立出版
出版年月日等
2005.2