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フェムト秒レーザー露光による非晶質半導体の光化学加工

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フェムト秒レーザー露光による非晶質半導体の光化学加工

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650790
国立国会図書館書誌ID
000007655132
資料種別
図書
著者
鈴木吉朗, 宮城工業高等専門学校 [著]
出版者
[鈴木吉朗]
出版年
2001-2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
フェムトビョウ レーザー ロコウ ニ ヨル ヒショウシツ ハンドウタイ ノ コウカガク カコウ
著者・編者
鈴木吉朗, 宮城工業高等専門学校 [著]
著者標目
鈴木, 吉朗 スズキ, ヨシロウ
宮城工業高等専門学校 ミヤギ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ
出版事項
出版年月日等
2001-2002
2004.3
出版年(W3CDTF)
2001
2002
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)