選択液相成長フッ素添加酸化シリコン薄膜を用いる光波制御デバイスに関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 選択液相成長フッ素添加酸化シリコン薄膜を用いる光波制御デバイスに関する研究
• タイトルよみ: センタク エキソウ セイチョウ フッソ テンカ サンカ シリコン ハクマク オ モチイル コウハ セイギョ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 本間哲哉, 芝浦工業大学 [著]
• 著者標目: 本間, 哲哉 ホンマ, テツヤ; 芝浦工業大学 シバウラ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [本間哲哉]
• 出版年月日等: 2001-2003; 2004.6
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2003
• 数量: 38枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜光導波路 / フッ素添加酸化シリコン (SiOF) / 有機スピンオングラス (SOG) / 液相成長 (LPD) 法 / 屈折率温度係数 / リブ型導波路 / 熱光学スイッチ ハクマク ヒカリドウハロ / フッソ テンカ サンカ シリコン (SiOF) / ユウキ スピンオングラス (SOG) / エキソウ セイチョウ (LPD) ホウ / クッセツリツ オンド ケイスウ / リブガタ ドウハロ / ネツ コウガク スイッチ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650384
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650384
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007655450; http://id.ndl.go.jp/bib/000007655450
• 整理区分コード: 214