光量子干渉効果を利用した極限超解像光リソグラフィー

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光量子干渉効果を利用した極限超解像光リソグラフィー
• タイトルよみ: コウリョウシ カンショウ コウカ オ リヨウシタ キョクゲン チョウカイゾウ ヒカリ リソグラフィー
• 著者・編者: 渋谷眞人, 東京工芸大学 [著]
• 著者標目: 渋谷, 眞人 シブヤ, マサト; 東京工芸大学 トウキョウ コウゲイ ダイガク
• 出版事項: [渋谷眞人]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 超解像 / 量子光学 / 光リソグラフィー チョウカイゾウ / リョウシ コウガク / ヒカリ リソグラフィー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560036
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560036
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007788060; http://id.ndl.go.jp/bib/000007788060
• 整理区分コード: 214