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図書
メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発
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メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発
国立国会図書館請求記号
Y151-H15560101
国立国会図書館書誌ID
000007818260
資料種別
図書
著者
柴田順二, 芝浦工業大学 [著]
出版者
[柴田順二]
出版年
2003-2004
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
52枚
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発
タイトルよみ
メタル CMP ノ ケンマ サヨウ ト スラリー ノ カイハツ
著者・編者
柴田順二, 芝浦工業大学 [著]
著者標目
柴田, 順二
シバタ, ジュンジ
芝浦工業大学
シバウラ コウギョウ ダイガク
出版事項
[柴田順二]
出版年月日等
2003-2004
2005.6
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
52枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
CPM / 研磨 / スラリー / ゾル-ゲル法 / シリカ / パッド / メタル / ウエハー
CPM / ケンマ / スラリー / ゾル-ゲルホウ / シリカ / パッド / メタル / ウエハー
NDLC
Y151
一般注記
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
15560101
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H15560101
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007818260
http://id.ndl.go.jp/bib/000007818260
整理区分コード
214
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