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集積回路上への選択成長極微細シリコンプローブによるスマート・マイクロチップ

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集積回路上への選択成長極微細シリコンプローブによるスマート・マイクロチップ

国立国会図書館請求記号
Y151-H14205044
国立国会図書館書誌ID
000007838487
資料種別
図書
著者
石田誠, 豊橋技術科学大学 [著]
出版者
[石田誠]
出版年
2002-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シュウセキ カイロジョウ エノ センタク セイチョウ ゴクビサイ シリコン プローブ ニ ヨル スマート マイクロチップ
著者・編者
石田誠, 豊橋技術科学大学 [著]
著者標目
石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )典拠
豊橋技術科学大学 トヨハシ ギジュツ カガク ダイガク ( 00260069 )典拠
出版事項
出版年月日等
2002-2004
2005.5
出版年(W3CDTF)
2002
2004
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)