博士論文

エキシマレーザを用いた薄膜多結晶半導体材料の形成とその結晶性評価に関する研究

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エキシマレーザを用いた薄膜多結晶半導体材料の形成とその結晶性評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2005-E251
国立国会図書館書誌ID
000007843304
資料種別
博士論文
著者
綾洋一郎 [著]
出版者
[綾洋一郎]
出版年
2004
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
熊本大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
エキシマ レーザ オ モチイタ ハクマク タケッショウ ハンドウタイ ザイリョウ ノ ケイセイ ト ソノ ケッショウセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
綾洋一郎 [著]
著者標目
綾, 洋一郎 アヤ, ヨウイチロウ
出版事項
出版年月日等
2004
出版年(W3CDTF)
2004
数量
1冊
授与機関名
熊本大学