広パラメータ領域での高気圧プラズマの生成法とその応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 広パラメータ領域での高気圧プラズマの生成法とその応用
• タイトルよみ: コウパラメータ リョウイキ デノ コウキアツ プラズマ ノ セイセイホウ ト ソノ オウヨウ
• 著者・編者: 橘邦英, 京都大学 [著]
• 著者標目: 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ; 京都大学 キョウト ダイガク
• 出版事項: [橘邦英]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 89p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: プラズマ表面処理 / 大気圧プラズマ / マイクロプラズマ集積型 / 誘電体バリヤ放電 / プラズマCVD / SiO_2薄膜 プラズマ ヒョウメン ショリ / タイキアツ プラズマ / マイクロプラズマ シュウセキガタ / ユウデンタイ バリヤ ホウデン / プラズマ CVD / SiO_2 ハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15340198
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15340198
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007860281; http://id.ndl.go.jp/bib/000007860281
• 整理区分コード: 214