2段階成長法による高効率太陽電池用シリコン薄膜の結晶性制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 2段階成長法による高効率太陽電池用シリコン薄膜の結晶性制御
• タイトルよみ: 2ダンカイ セイチョウホウ ニ ヨル コウコウリツ タイヨウ デンチヨウ シリコン ハクマク ノ ケッショウセイ セイギョ
• 著者・編者: 上迫浩一, 東京農工大学 [著]
• 著者標目: 上迫, 浩一 カミサコ, コウイチ; 東京農工大学 トウキョウ ノウコウ ダイガク
• 出版事項: [上迫浩一]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 78p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 微結晶シリコン薄膜 / 水素ラジカルCVD法 / 表面ラフネス / 紫外線反射率 ビケッショウ シリコン ハクマク / スイソ ラジカル CVD ホウ / ヒョウメン ラフネス / シガイセン ハンシャリツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14580533
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14580533
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007860610; http://id.ndl.go.jp/bib/000007860610
• 整理区分コード: 214