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微結晶シリコン系薄膜の局在準位の評価とその低減に関する研究 : ヘテロ構造薄膜への共振型光熱ベンディング分光法の応用

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微結晶シリコン系薄膜の局在準位の評価とその低減に関する研究 : ヘテロ構造薄膜への共振型光熱ベンディング分光法の応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H14350163
国立国会図書館書誌ID
000007888078
資料種別
図書
著者
野々村修一, 岐阜大学 [著]
出版者
[野々村修一]
出版年
2002-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
114p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ビケッショウ シリコンケイ ハクマク ノ キョクザイ ジュンイ ノ ヒョウカ ト ソノ テイゲン ニ カンスル ケンキュウ : ヘテロ コウゾウ ハクマク エノ キョウシンガタ コウネツ ベンディング ブンコウホウ ノ オウヨウ
著者・編者
野々村修一, 岐阜大学 [著]
著者標目
野々村, 修一 ノノムラ, シュウイチ
岐阜大学 ギフ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2002-2004
2005.3
出版年(W3CDTF)
2002
2004
数量
114p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)