博士論文

低雑音・広帯域静電容量型マイクロ加速度センサの設計及び製造方法に関する研究

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低雑音・広帯域静電容量型マイクロ加速度センサの設計及び製造方法に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2005-G644
国立国会図書館書誌ID
000007900624
資料種別
博士論文
著者
吉田勇作 [著]
出版者
[吉田勇作]
出版年
[2005]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (学術)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
テイザツオン コウタイイキ セイデン ヨウリョウガタ マイクロ カソクド センサ ノ セッケイ オヨビ セイゾウ ホウホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
吉田勇作 [著]
著者標目
吉田, 勇作 ヨシダ, ユウサク
出版事項
出版年月日等
[2005]
出版年(W3CDTF)
2005
数量
1冊
授与機関名
東北大学