窒化ガリウム薄膜の局所選択形成のための新しいプロセス

• 資料種別: 図書
• タイトル: 窒化ガリウム薄膜の局所選択形成のための新しいプロセス
• タイトルよみ: チッカ ガリウム ハクマク ノ キョクショ センタク ケイセイ ノ タメノ アタラシイ プロセス
• 著者・編者: 柳澤淳一, 大阪大学 [著]
• 著者標目: 柳澤, 淳一 ヤナギサワ, ジュンイチ; 大阪大学 オオサカ ダイガク
• 出版事項: [柳澤淳一]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2005.4
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 50枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 窒化ガリウム / GaN / イオンビーム / 窒素ラジカル / 熱フィラメント法 / 直接堆積 / XPS チッカ ガリウム / GaN / イオンビーム / チッソ ラジカル / ネツ フィラメントホウ / チョクセツ タイセキ / XPS
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550300
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550300
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007945610; http://id.ndl.go.jp/bib/000007945610
• 整理区分コード: 214