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プラズマCVD法によるTiO2膜を使った微小放射線センサーの試作に関する研究

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プラズマCVD法によるTiO2膜を使った微小放射線センサーの試作に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H15560267
国立国会図書館書誌ID
000007958006
資料種別
図書
著者
下妻光夫, 北海道大学 [著]
出版者
[下妻光夫]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
68p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラズマ CVDホウ ニ ヨル TiO2マク オ ツカッタ ビショウ ホウシャセン センサー ノ シサク ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
下妻光夫, 北海道大学 [著]
著者標目
下妻, 光夫 シモズマ, ミツオ
北海道大学 ホッカイドウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.5
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
68p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)