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プラズマイオンプロセスとその応用

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プラズマイオンプロセスとその応用

国立国会図書館請求記号
ND351-H19
国立国会図書館書誌ID
000007963252
資料種別
図書
著者
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 編
出版者
オーム社
出版年
2005.10
資料形態
ページ数・大きさ等
279p ; 22cm
NDC
549.1
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資料詳細

要約等:

薄膜生成・半導体への適用技術を網羅(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-274-20123-6
タイトルよみ
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
著者・編者
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 編
著者標目
電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )典拠
出版年月日等
2005.10
出版年(W3CDTF)
2005
数量
279p