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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ジコ ソシキカ タンブンシマク ノ ビサイ パターニング オ モチイタ ナノ コウガク ソシ
- 著者・編者
- 福田勝己, 東京工業高等専門学校, 東京大学 [著]
- 著者標目
- 福田, 勝己 フクダ, カツミ東京工業高等専門学校 トウキョウ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ東京大学 トウキョウ ダイガク
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002-20042005.3
- 出版年（W3CDTF）
- 20022004
- 数量
- 45枚
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)