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低温プラズマによる高分子薄膜表面のナノサイズ高精度加工法の確立

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低温プラズマによる高分子薄膜表面のナノサイズ高精度加工法の確立

国立国会図書館請求記号
Y151-H15560635
国立国会図書館書誌ID
000007982116
資料種別
図書
著者
山根大和, 北九州工業高等専門学校 [著]
出版者
[山根大和]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
63枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
テイオン プラズマ ニ ヨル コウブンシ ハクマク ヒョウメン ノ ナノサイズ コウセイド カコウホウ ノ カクリツ
著者・編者
山根大和, 北九州工業高等専門学校 [著]
著者標目
山根, 大和 ヤマネ, ヒロカズ
北九州工業高等専門学校 キタキュウシュウ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.6
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
63枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)