サブナノメートル形状のマルチスケール測定・評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: サブナノメートル形状のマルチスケール測定・評価
• タイトルよみ: サブナノメートル ケイジョウ ノ マルチスケール ソクテイ ヒョウカ
• 著者・編者: 笹島和幸, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 笹島, 和幸 ササジマ, カズユキ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [笹島和幸]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 28枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 超精密加工 / 微細形状 / 表面微細形状 / 測定 / マルチスケール / 金型 / 顕微鏡 / 分解能 チョウセイミツ カコウ / ビサイ ケイジョウ / ヒョウメン ビサイ ケイジョウ / ソクテイ / マルチスケール / カナガタ / ケンビキョウ / ブンカイノウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550096
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550096
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007982192; http://id.ndl.go.jp/bib/000007982192
• 整理区分コード: 214