実践的プラズマプロセス構築のための基礎と応用最前線 : ULSIからカーボン配線,MEMS,大気圧プラズマまで : 第16回プラズマエレクトロニクス講習会

• 資料種別: 図書
• タイトル: 実践的プラズマプロセス構築のための基礎と応用最前線 : ULSIからカーボン配線,MEMS,大気圧プラズマまで : 第16回プラズマエレクトロニクス講習会
• タイトルよみ: ジッセンテキ プラズマ プロセス コウチク ノ タメノ キソ ト オウヨウ サイゼンセン : ULSI カラ カーボン ハイセン MEMS タイキアツ プラズマ マデ : ダイ 16カイ プラズマ エレクトロニクス コウシュウカイ
• 著者・編者: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: [東京] : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
• 出版年月日等: 2005.10
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 107p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: プラズマ--論文集 プラズマ ロンブンシュウ ( 00950982 )典拠
• NDC9版: 427.6 : 電磁気学
• NDLC: MC241
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期・会場: 2005年10月27日-28日 慶應義塾大学日吉キャンパス来往舎; JSAP catalog number: 052343; 奥付のタイトル: 第16回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC241-H21
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008060013; http://id.ndl.go.jp/bib/000008060013
• 全国書誌番号: 20970409
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: プラズマの計測・実践的発光分光 / 白谷正治 著プラズマの生成と制御方法 / 板橋直志 著カーボン配線技術 / 粟野祐二 著...

目次

目次

開催日：2005年10月27日(木)〜28日(金)

会場：慶応義塾大学　日吉キャンパス　来往舎

1. プラズマの計測・実践的発光分光/ 1

2. プラズマの生成と制御方法/ 14