博士論文

He-Neレーザを用いたヘテロダイン干渉法の高精度化と大規模ナノメータ平面形状計測への応用に関する研究

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He-Neレーザを用いたヘテロダイン干渉法の高精度化と大規模ナノメータ平面形状計測への応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2006-B605
国立国会図書館書誌ID
000008132862
資料種別
博士論文
著者
横山敏之 [著]
出版者
[横山敏之]
出版年
2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
He-Ne レーザ オ モチイタ ヘテロダイン カンショウホウ ノ コウセイドカ ト ダイキボ ナノメータ ヘイメン ケイジョウ ケイソク エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
横山敏之 [著]
著者標目
横山, 敏之 ヨコヤマ, トシユキ
出版事項
出版年月日等
2005
出版年(W3CDTF)
2005
数量
1冊
授与機関名
大阪大学