Gate dielectric integrity: material, process, and tool qualification. : conference on gate dielectric integrity (GDI) : Jan 1999, San Jose, CA. (STP ; 1382)

Gate dielectric integrity: material, process, and tool qualification. : conference on gate dielectric integrity (GDI) : Jan 1999, San Jose, CA.

(STP ; 1382)

国立国会図書館請求記号: M17-06-1350
国立国会図書館書誌ID: 000008147664

資料種別: 図書

著者: Gupta, D. C. (Dinesh C.)ほか

出版者: ASTM

出版年: c2000.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xi, 169 p. : ill. ; 23 cm.

NDC: -

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一般注記：: Papers.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0803126158
タイトル: Gate dielectric integrity: material, process, and tool qualification. : conference on gate dielectric integrity (GDI) : Jan 1999, San Jose, CA.
シリーズタイトル: STP ; 1382
タイトル標目: ASTM special technical publication ; 1382.
著者標目: Gupta, D. C. (Dinesh C.)
Brown, George A., 1937-
出版事項: West Conshohocken : ASTM
出版年月日等: c2000.
出版年（W3CDTF）: 2000
数量: xi, 169 p. : ill. ; 23 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Semiconductor wafers -- Reliability.
Integrated circuits -- Wafer-scale integration -- Reliability.
Gate array circuits -- Materials.
Silicon oxide films -- Testing.
Dielectrics -- Testing.
LCC: TK7871.85.
DDC: 621.3815/2
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-06-1350
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000008147664
http://id.ndl.go.jp/bib/000008147664
LC control number: 99086920
https://lccn.loc.gov/99086920
RLIN番号: MNUGASS3041-B
整理区分コード: 215