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MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開

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MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開

国立国会図書館請求記号
NB21-H41
国立国会図書館書誌ID
000008238771
資料種別
図書
著者
前田龍太郎, 澤田廉士, 青柳桂一 編
出版者
フロンティア出版
出版年
2006.5
資料形態
ページ数・大きさ等
285p ; 27cm
NDC
530
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目次

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  • CONTENTS

  • 第1章 MEMS/NEMS技術の最先端の動向

    前田竜太郎

  • 1 はじめに/ 1

  • 2 MEMS用製造装置/ 2

  • 3 光MEMS/ 2

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-902410-08-7
タイトルよみ
MEMS NEMS ノ サイセンタン ギジュツ ト オウヨウ テンカイ
著者・編者
前田龍太郎, 澤田廉士, 青柳桂一 編
著者標目
前田, 龍太郎 マエダ, リュウタロウ ( 00983845 )典拠
澤田, 廉士 サワダ, レンシ ( 00901247 )典拠
青柳, 桂一 アオヤギ, ケイイチ ( 01054006 )典拠
出版年月日等
2006.5
出版年(W3CDTF)
2006
数量
285p