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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウユウデンタイ シリコン カイメン ケイセイ ノ ゲンシ スケール セイギョ ニ ヨル コウヒンシツ カイメン ノ ジツゲン
- 著者・編者
- 野平博司, 武蔵工業大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2004-20052006.5
- 出版年（W3CDTF）
- 20042005
- 数量
- 34p
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
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