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シリコンの酸窒化処理による表面応力の動的挙動と電気特性

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シリコンの酸窒化処理による表面応力の動的挙動と電気特性

国立国会図書館請求記号
Y151-H15560026
国立国会図書館書誌ID
000008332422
資料種別
図書
著者
板倉明子, 物質・材料研究機構 [著]
出版者
[板倉明子]
出版年
2003-2005
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
シリコンの酸窒化処理による表面応力の動的挙動と電気特性
タイトルよみ
シリコン ノ サン チッカ ショリ ニ ヨル ヒョウメン オウリョク ノ ドウテキ キョドウ ト デンキ トクセイ
著者・編者
板倉明子, 物質・材料研究機構 [著]
著者標目
著者 ： 板倉, 明子 イタクラ, アキコ ( 001141922 )典拠
物質材料研究機構 ブッシツ ザイリョウ ケンキュウ キコウ ( 00851049 )典拠
出版事項
[板倉明子]
出版年月日等
2003-2005
2006.4
出版年（W3CDTF）
2003
2005
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)