プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究
• タイトルよみ: プローブ フヨウ デ タカイ スンポウ イチ セイギョセイ オ モツ イッカツ キンセツバ ヒカリ ナノ カコウホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 大津元一, 東京大学 [著]
• 著者標目: 大津, 元一, 1950- オオツ, モトイチ, 1950- ( 00155707 )典拠; 東京大学 トウキョウ ダイガク ( 00305733 )典拠
• 出版事項: [大津元一]
• 出版年月日等: 2004-2005; 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2005
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 近接場光 / 堆積 / 共鳴 / スパッタ / 蒸着 / 脱離 キンセツジョウ ヒカリ / タイセキ / キョウメイ / スパッタ / ジョウチャク / ダツリ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16360028
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16360028
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008342425; http://id.ndl.go.jp/bib/000008342425
• 整理区分コード: 214