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シングルnmオーダの超精密加工表面形状の多重解像度解析

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シングルnmオーダの超精密加工表面形状の多重解像度解析

国立国会図書館請求記号
Y151-H16560090
国立国会図書館書誌ID
000008343607
資料種別
図書
著者
笹島和幸, 東京工業大学 [著]
出版者
[笹島和幸]
出版年
2004-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
28枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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資料種別
図書
タイトルよみ
シングル nm オーダ ノ チョウセイミツ カコウ ヒョウメン ケイジョウ ノ タジュウ カイゾウド カイセキ
著者・編者
笹島和幸, 東京工業大学 [著]
著者標目
笹島, 和幸 ササジマ, カズユキ
東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2005
2006.3
出版年(W3CDTF)
2004
2005
数量
28枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)