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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- 1nm スケール ネオ シリコン リョウシ ジョウホウ デバイス ソウセイ ニ ムケタ マルチスケール セッケイ カイセキ
- 著者・編者
- 水田博, 東京工業大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2004-20052006.3
- 出版年(W3CDTF)
- 20042005
- 数量
- 1冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
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