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表面性状にロバストな光触針式輪郭測定システム

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表面性状にロバストな光触針式輪郭測定システム

国立国会図書館請求記号
Y151-H16560106
国立国会図書館書誌ID
000008361195
資料種別
図書
著者
深津拡也, 東京都立工業高等専門学校 [著]
出版者
[深津拡也]
出版年
2004-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
66枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒョウメン セイジョウ ニ ロバストナ ヒカリ ショクシンシキ リンカク ソクテイ システム
著者・編者
深津拡也, 東京都立工業高等専門学校 [著]
著者標目
深津, 拡也, 1954- フカツ, ヒロヤ, 1954- ( 00685088 )典拠
東京都立工業高等専門学校 トウキョウ トリツ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ ( 00306302 )典拠
出版事項
出版年月日等
2004-2005
2006.3
出版年(W3CDTF)
2004
2005
数量
66枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)